1、檢查水沖泵(前級泵) 水箱液位是否達到水箱的 3/4 以上，若不足則補足。
2、檢查水箱內所使用的水是否清潔，不允許用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，增加水泵葉輪磨損、增大電機負荷造成故障，影響水沖泵使用壽命。
3、檢查中間泵及主泵泵體內的潤滑油油面高度，必須達油窗的 3/4 以上，同時檢查潤滑油的顏色，如出現乳白色或黑色雜質較多則通知機修更換潤滑油。
4、檢查中間泵及主泵循環冷卻水水路是否完好，打開循環冷卻水進出口閥門，檢查循環冷卻進出水是否正常。
5、檢查中間泵底部緩沖罐排污閥門是否關閉。
6、檢查真空泵機組電路完好及控制柜各項指示等是否正常
7、檢查真空泵機組電極觸點壓力表中級泵、主泵啟動壓力是否正常(中級泵啟動入口壓力為 0.065Mpa 以上，主泵啟動入口壓力為 0.085Mpa 以上)8 待以上事項檢查完畢確認無誤后方可啟動真空機組。
